PIEZORESISTIVE MICROCANTILEVER SEBAGAI SENSOR DENGAN SENSITIFITAS TINGGI
Abstract
Kesalahan sekecil apapun atau ketidakakuratan data yang diperoleh akan menyebabkan kesalahan
yang lain pada proses berikutnya. Aplikasi piezoresistive microcantilever sebagai sensor dengan
tingkat akurasi dan sensitifitas tinggi mulai banyak dipelajari dan diterapkan dalam dunia
kesehatan, biologi, kimia dan lingkungan hidup. Piezoresistive microcantilever memiliki
sensitifitas yang sangat tinggi (skala attogram, 10
-18
).Dalam penggunaannya, piezoresistive
microcantilevermemerlukan instrumen pendukung dengan tingkat akurasi yang tinggi pula, seperti
rangkaian kontrol penguat operasional (OP-AMP) dan pembagi tegangan. Pada kegiatan riset ini,
akan dilakukan kegiatan yang meliputi pembuatan rangkaian wheatstone bridge sebagai detektor
obyek, rangkaian OP-AMP menggunakan piranti dengan akurasi tinggi seperti INA 128, dan
simulasi perubahan frekuensi resonansi berbasis Persamaan Euler-Bernoulli Beam sebagai deteksi
keberadaan obyek. Obyek yang dideteksi dapat berukuran sampai dengan skala picogram. Saat
terdeteksi, massa obyek akan mengakibatkan perubahan nilai defleksi nilai frekuensi resonansi.
Perubahan ini akan dianalisa dan dipelajari untuk menentukan karakteristik metode
pendeteksian/penyensoran.
Full Text:
PDFReferences
NardoRamírezFrómeta. 2006. Cantilever
Biosensors. BiotecnologíaAplicada Vol.23,
No.4.
Sandeep Kumar Vashist. 2007. A Review of
Microcantilevers for Sensing Applications.
Azojono Journal of Nanotechnology
Online. Vol.3. June 2007.
Yang-Choon Lim, Abbas Z. Kouzani, Wei
Duan, and AkifKaynak. 2010. Effects of
Design Parameters on Sensitivity of
Microcantilever Biosensors. The 2010
IEEE/ICME International Conference on
Complex Medical Engineering July 13-15,
I 0, Gold Coast, Australia.
ADVANCEPIPELINER. Beam Deflection
Formulae.
Chen Kim Yew and Dr Lim Kian Meng
(Supervisor). 2004. Design and Analysis of
Sensor Array. Bachelor of Engineering National University of Singapore.
Ben Ohler, Ph.D., Veeco Instruments Inc.
Practical Advice on the Determination of
Cantilever Spring Constants. pp. 1-11.
Thomson, W.T. 2007. Free Vibrations Of A
Cantilever Beam (Single Degree Of
Freedom System). Kindersley Publishing,
Inc., London.
M. Maroufi, Sh. Zihajehzadeh, M.
Shamshirsaz, A.H. Rezaie. 2010. Effect of
Mechanical Properties Variation of
Polysilicon on Microcantilever Mass
Sensor Sensitivity. EDA Publishing/DTIP
, pp. 144-147. ISBN: 978-2-35500-011-9.
Hayato SONE, Haruki OKANO and Sumio
HOSAKA. 2004. Picogram Mass Sensor
Using Resonance Frequency Shift of
Cantilever. Japanese Journal of Applied
Physics Vol. 43, No. 6A, 2004, pp. 3648–
Refbacks
- There are currently no refbacks.
==============================================================================================================
Prosiding SEMNASTEK Fakultas Teknik
Universitas Muhammadiyah Jakarta
Jl. Cempaka Putih Tengah 27
Jakarta Pusat 10510
T. 021.4256024, 4244016 / F. 021.4256023
ISSN : 2407 – 1846
e-ISSN : 2460 – 8416
==============================================================================================================