PIEZORESISTIVE MICROCANTILEVER SEBAGAI SENSOR DENGAN SENSITIFITAS TINGGI

Abstract

Kebutuhan  terhadap  akurasi  data  menjadi  mutlak  dalam  pemilihan  sebuah  alat  deteksi/sensor.Kesalahan sekecil apapun atau ketidakakuratan data yang diperoleh akan menyebabkan kesalahanyang  lain  pada  proses  berikutnya. Aplikasi piezoresistive  microcantilever sebagai  sensor dengantingkat  akurasi  dan  sensitifitas  tinggi mulai  banyak  dipelajari dan  diterapkan dalam  duniakesehatan,  biologi,  kimia  dan  lingkungan  hidup. Piezoresistive  microcantilever memilikisensitifitas  yang  sangat tinggi  (skala  attogram,  10-18).Dalam  penggunaannya, piezoresistivemicrocantilevermemerlukan instrumen pendukung dengan tingkat akurasi yang tinggi pula, sepertirangkaian kontrol penguat operasional (OP-AMP) dan pembagi tegangan. Pada kegiatan riset ini,akan dilakukan kegiatan yang  meliputi pembuatan rangkaian wheatstone bridge sebagai detektorobyek,  rangkaian  OP-AMP  menggunakan  piranti  dengan  akurasi  tinggi  seperti  INA  128, dansimulasi perubahan frekuensi resonansi berbasis Persamaan Euler-Bernoulli Beam sebagai deteksikeberadaan  obyek. Obyek  yang  dideteksi  dapat  berukuran  sampai  dengan  skala picogram.  Saatterdeteksi,  massa  obyek akan  mengakibatkan  perubahan  nilai defleksi  nilai  frekuensi  resonansi.Perubahan  ini  akan  dianalisa  dan  dipelajari  untuk  menentukan  karakteristik  metodependeteksian/penyensoran.